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特長

●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
●2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。

用途

●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置。
●真空蒸着装置、凍結乾燥器。
●医療用機器全般。

仕様

●排気速度(L/min)50/60Hz:5/6
●到達圧力(Pa):6.7
●吸気口径(mm):12
●電源(V):単相100
●騒音値(dB):-
●使用油:SMR-100
●全幅×全長×全高(mm):130×203×159.5
●寸法(mm):130×203×159.5
●一台から異電圧に別作対応
●排気速度50/60Hz(L/min):5/6
●吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6
●最大寸法(mm):130(W)×203(L)×159.5(H)
●日本

注意

●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。
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